Maglev Pump, CXF-200/1401, водяное охлаждение, на борту Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
технологии:
- Технология управления для магнитного подшипника . Принятый электромагнит представляет собой 5-осевую магнитную подвеску. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамической технологии управления активной замкнутой магнитной подвеской, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие существенные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления приводом двигателя: Высокопроизводительный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к насосам с последовательной магнитной подвеской, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежная работа и функция автоматического регулирования динамической энергии.
- Углеродные композитные роторные технологии. Турботоры серийных магнитных подвесных молекулярных насосов изготавливаются путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава турбо-роторы отличаются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах серийных магнитных суспензионных молекулярных насосов обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут длительное время противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что реализуется функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
- Система контроля температуры нагрева: Серийные молекулярные насосы с магнитной левитацией оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, воздушный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, можно контролировать и контролировать во время работы, температуру в Насосы могут поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не преобразуются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко приобрести действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
3. Способный извлекать едкие газы на длительный срок
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с точными керамическими шариками
Функция выработки 5.power в случае внезапного отключения
Характеристики:
| модель | CXF-200/1401 |
| Скорость насоса (л / с, воздух) | 1400 |
| Степень сжатия | > 1 × 10 7 |
| Предельный вакуум (Па) | ≤2 × 10 -6 |
| Впускной фланец | DN200 ISO K (LF) |
| DN200 ISO F |
| DN200 ISO CF |
| Выходной фланец | KF 40 |
| Скорость вращения (об / мин) | 33000 |
| Время запуска (мин) | 6 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Поддерживающий насос (л / с) | 15 |
| Монтаж или презентация | любой |
| Метод охлаждения | вода |
| Вес (кг) (с контроллером) | 51 |
Приложения:
Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.
