
Add to Cart
Жидкостные водонагреватели DI для процесса производства полупроводников
Модель |
ПВХ-24и |
ПВХ-48и |
ПВХ-72и |
ПВХ-96и |
PWH-144i |
Метод нагрева |
Радиационный нагрев ближним инфракрасным излучением |
||||
Мощность нагревателя |
24кВт |
48кВт |
72кВт |
96кВт |
144 кВт |
Стандартный расход (e при 55°C) |
6л/мин |
12л/мин |
18л/мин |
24л/мин |
36л/мин |
Минимальный расход теплоносителя |
2л/мин |
5л/мин |
10л/мин |
||
Диапазон настройки температуры |
от 25 до 85°С |
||||
Точность контроля температуры |
±1°C ※1 |
||||
Диапазон показаний расходомера |
от 0 до 10 л/мин |
от 0 до 50 л/мин (негарантированный диапазон точности регулирования температуры) |
|||
Допустимое давление деионизированной воды |
0,4 МПа (разгрузочное давление: 0,35 МПа) |
||||
Обогреватель |
Галогеновая лампа.Непрямой нагрев без прямого контакта с водой |
||||
Материал нагревательных сосудов |
Прозрачный кварц высокой чистоты |
||||
Смачиваемые материалы трубопровода |
Фторуглеродный полимер |
||||
Функции безопасности |
Ошибка расхода, перегрев, отсутствие жидкости, отключение датчика протечки и отключение лампы Отключение питания, сигнал тревоги, индикация ошибки или вывод сигнала в случае обнаружения ошибки |
||||
Функция внешней связи |
RS-232C/RS-48(5 вариантов)※2 |
||||
Функция внешнего ввода/вывода |
8 входов/14 выходов (в зависимости от спецификации) |
||||
Габаритные размеры (мм)※3 |
Ш340×Г850×В1384 |
Ш340×Г850×В1384 |
Ш340×Г850×В1584 |
Ш340×Г850×В1986 |
Ш1050×Г700×В2004 |
Масса |
прибл.140 кг |
прибл.150 кг |
прибл.160 кг |
прибл.210 кг |
прибл.410 кг |
Требуемая мощность (t 50/60 Гц) |
АК200/208В 69/67А |
АК200/208В 139/133А |
АК200/208В 208/200А |
АК200/208В 277/266А |
АК200/208В 416/400А |
Система подачи горячей воды сверхчистой воды, которая идеально подходит для промывки кремниевых пластин и стеклянных подложек жидкокристаллических дисплеев.
DI-Water Heater нагревает очищенную воду, используемую для промывки кремниевых пластин при производстве полупроводников и стеклянных подложек при производстве ЖК-дисплеев.Галогенные лампы размещены в прозрачных трубках из кварцевого стекла высокой чистоты с двойными стенками, что обеспечивает эффективный нагрев сверхчистой воды без примесей.Тонкий, компактный дизайн сводит к минимуму точку опоры для установки в месте использования.
●Функции
1. Очистить
Отопительные сосуды, по которым протекает вода, и все сантехнические трубы соответственно изготовлены из кварцевого стекла высокой чистоты и фторопластового полимера.
2. Компактный
Тонкий и компактный блок требует минимальной площади для установки в месте использования.
3. Отличный контроль температуры
Высокая мощность галогенных ламп быстро повышает температуру и регулирует ее в зависимости от изменения расхода воды.
4. Высокая эффективность
КПД более 95%.
5. Безопасность
Оптимальная эксплуатационная безопасность обеспечивается дисплеями и звуковой сигнализацией при возникновении нештатных ситуаций, таких как перегрев, незаряженный нагрев, избыточное давление и утечка воды.
●Приложения
1. Нагрев сверхчистой воды для промывки кремниевых пластин и стеклянных подложек ЖК-дисплеев.
2. Нагрев чистой воды, используемой вместо фреона для очистки.