
Add to Cart
Встроенный химический нагреватель обеспечивает непревзойденный нагрев полупроводниковой технологической жидкости
Теперь можно нагревать полупроводниковые технологические жидкости до 210°C!
Более быстрый нагрев:Размеры камеры с одним нагревателем до 18 кВт.
Быстрая установка:Сантехнические соединения по индивидуальному заказу
Долгий срок службы нагревателя для снижения стоимости владения (COO):
Запатентованная система продувки нагревательным газом постоянно удаляет любое химическое проникновение и обеспечивает длительный срок службы элемента.
Долгий срок службы нагревателя и чистая работа:Запатентованная система продувки нагревательного газа постоянно удаляет химическое проникновение и обеспечивает исключительно долгий срок службы элемента.Эта система также защищает от любого потенциального ионного загрязнения химии.
Прочная конструкция:Толстостенная камера обеспечивает долгий срок службы в самых суровых высокотемпературных условиях.
Исключительно чистая производительность:Толстая фторполимерная оболочка сводит к минимуму проникновение.Мониторинг продувки элемента сводит к минимуму возможность ионного загрязнения.Сборка и испытания в чистых помещениях обеспечивают высочайшие производственные стандарты.
Превосходная химическая совместимость:Все детали, смачиваемые фторполимером, совместимы практически с любым химическим веществом.
Отличная температурная стабильность:Конструкция с низкой удельной мощностью обеспечивает точный контроль температуры процесса.
Приложения включают в себя:
SC1: гидроксид аммония (NH4OH) и перекись водорода (H2O2)
SC2: соляная кислота (HCl) и перекись водорода Процесс травления оксида с буфером (BOE): плавиковая кислота (HF) и фторид аммония (NH4F)
Травление/зачистка нитридом: фосфорная кислота (H3PO4) Различные кислоты, такие как:
Соляная (HCl)
Гидрофтористый (HF)
Уксусная кислота (C2H4O2)
Азотная (HNO3)
Серная (H2SO4)
Серная кислота и перекись водорода
Серная кислота и озон (O3)
Плавиковая кислота и гликоль (C2H6O2)
Гидроксид калия (KOH)
Гидроксид натрия (NaOH)
Химический никель Химическая медь Химическое золото Золото деионизированная
Некоторые растворители (проконсультируйтесь с заводом-изготовителем)
Преимущества и характеристики
Непревзойденный нагрев полупроводниковых технологических жидкостей до 210°C.
Запатентованная система продувки газа нагревателя обеспечивает длительный срок службы элемента и снижение стоимости владения.
Толстостенная камера обеспечивает долгий срок службы в самых суровых высокотемпературных условиях.
Мониторинг продувки элемента сводит к минимуму возможность ионного загрязнения.Сборка и испытания в чистых помещениях обеспечивают высочайшие производственные стандарты.
Все смачиваемые детали из фторполимера обеспечивают превосходную совместимость практически с любыми химическими веществами.
Конструкция с низкой удельной мощностью обеспечивает точный и стабильный контроль температуры процесса.
Монтажные кронштейны из ПВДФ для высоких температур (модель для высоких температур)
Опции:
Горизонтальная конфигурация
Встроенные охлаждающие змеевики
RTD на 100 Ом или процесс типа «J», «K» или «E» и
элемент термопары
Нагреватели с меньшей удельной мощностью для специальных применений
Характеристики:
Обслуживание:
•Встроенный химический нагреватель, полностью смоченный фторполимером
поверхности практически для любого применения влажной химии.
Температурный диапазон: до 210°C.
Максимальное рабочее давление:
•100 PSIG (7 бар) при 25oC
•43 PSIG (. Бар) при 180oC
Размеры нагревателя: от 1000 Вт до 18 000 Вт.
Доступные напряжения нагревателя:
•от 200 до 600 вольт, одна или три фазы (12 кВт и
больше требует трех фаз).
Плотность Вт: 10 Вт на квадратный дюйм (1,5 Вт/см2)
Доступные гидравлические соединения:
•От 1⁄4” (6 мм) до 1” (25 мм), развальцовка
•1/2” (12 мм) до 1” (25 мм) Super 300 Type Pillar®•
Доступны другие соединения, проконсультируйтесь с производителем
Сертификаты третьей стороны: CE, UL, Semi S2 и S3
Очистка элемента:
•Небольшое количество чистого сухого воздуха (CDA) или N2газовые потоки
между металлическим заземленным элементом и оболочкой из ПТФЭ
Приложения
Полупроводниковые мокрые процессы
Стерилизация/очистка
Солнечная/фотоэлектрическая очистка пластин
Датчик уровня жидкости
Варианты заземляющего провода
Термопара перегрева
Технологическая термопара
Опции
Термическая отсечка
Термопары
Волоконно-оптический датчик уровня жидкости
Датчики RTD
Клапан сброса давления
Модель |
LP1 |
LP7 |
Смачиваемый материал |
ПВДФ/ПФА |
ПВДФ/ПФА |
Материал корпуса |
Трубка |
Трубка |
Максимальная температура |
95°С |
95°С |
Давление |
60 psi при 95°C |
60 psi при 95°C |
Сила* |
1-15 кВт |
1-18 кВт |
Точность |
± 0,1°С |
± 0,1°С |
Напряжение** |
200–480 В переменного тока, 1 и 3 фазы |
200-600 В переменного тока, 1 и 3 фазы |
Поток |
0,5–32 гал/мин (1,9–122 л/мин) |
0,5–32 гал/мин (1,9–122 л/мин) |
Преимущества |
Переменная высота |
Высший расход, кВт |