Встроенный химический нагреватель фторполимера ПТФЭ для влажных процессов полупроводника

Поточный химический нагреватель из фторполимера (ПТФЭ) для полупроводниковых мокрых процессов

Теперь можно нагревать полупроводниковые технологические жидкости до 210°C!

ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА

Непревзойденный в полупроводниковом технологическом нагреве жидкости.Однокамерные размеры до 18 кВт

• ОСОБЕННОСТИ

  • 1. Прочная конструкция для самых требовательных рециркуляционных или однопроходных химических применений.

  • 2. Способен достичь максимальной температуры нагрева, до 210°С.

  • 3. Все смачиваемые поверхности из фторполимера практически для любого применения влажной химии.Толстостенная камера обеспечивает длительный

  • срок службы в самых суровых высокотемпературных условиях.

  • 4. Долгий срок службы нагревателя для снижения стоимости владения (COO): запатентованная система продувки газа нагревателя постоянно удаляет

  • 5. любое химическое проникновение и обеспечивает длительный срок службы элемента.

  • 6. Сертификация: CE, UL, Semi S2

• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  • 1. Мощность от 1000 Вт до 18 000 Вт.

    2. Вольтот 200 до 600 Ом, одна или три фазы (12 кВт и больше требуют трехфазного тока)

  • 3. Плотность Ватт: 10 Вт на квадратный дюйм (1,5 Вт/см2)

  • 4. Соединения для жидкости: от ¼ дюйма (6 мм) до 1 дюйма (25 мм);от ½ дюйма (12 мм) до 1 дюйма (25 мм) Super 300 Type Pillar®

  • 5. Продувка элемента: Небольшое количество чистого сухого воздуха (CDA) или газообразного азота проходит между заземленным металлическим элементом и оболочкой из ПТФЭ.Продувка сводит к минимуму возможность ионного загрязнения.Удаляет химическое проникновение для увеличения срока службы

• ДОСТУПНЫЕ ВАРИАНТЫ (ПРОКОНСУЛЬТИРУЙТЕСЬ С ЗАВОДОМ)

  • Горизонтальная конфигурация

  • Монтажные кронштейны из ПВДФ для высоких температур

  • Индивидуальные конфигурации, соединения и длины кабелей

  • Емкостная проверка уровня жидкости

ПРИЛОЖЕНИЯ

Очистка полупроводниковых пластин

Солнечная/фотогальваническая очистка пластин

Встроенный химический нагрев

​Функции безопасности

Датчик уровня жидкости

• Варианты заземляющего провода

• Термопара перегрева

• Технологическая термопара

Встроенный химический нагреватель	1 бар	15 фунтов на кв. дюйм
Температура окружающей среды	5-40°С 100°С	212 °F
Максимальное давление	<img data-original="/ueditor/themes/default/images/spacer.gif" alt="page3image53628096" width="0.479980" .479980'="" word_img="file:///page3image53628096" data-cke- save-src="https://img.everychina.com/nimg/df/3e/567d6f16d040326c7a0ea29a4f41.jpg" src="https://img.everychina.com/nimg/df/3e/567d6f16d040326c7a0ea29a4f41.jpg" style="граница: 1px сплошная rgb (221, 221, 221); вертикальное выравнивание: сверху; фоновое изображение: URL(&quot;http://www.preciseheater.com/ueditor/themes/default/images/word.gif&quot;); фоновое положение: по центру по центру; фоновое повторение: нет -повторить-не-повторить;"> 5,5 бар	80 фунтов на кв. дюйм
Минимальный расход	2 л/мин	0,53 галлона в минуту
МКТ—12 месяцев гарантии
Максимальная температура жидкости	200°С	392 °F
Максимальное давление	3,1 бар	45 фунтов на кв. дюйм

•