Проточный химический нагреватель из ПТФЭ обеспечивает непревзойденную производительность и надежность благодаря способности нагревать различные химические вещества до температуры 210°C.Этот нагреватель подходит как для однопроходного, так и для рециркуляционного применения.Обеспечивает лучшую в своем классе производительность в широком диапазоне требований к расходу и температуре.TIH — самый прочный и долговечный встроенный химический нагреватель!

ОСОБЕННОСТИ

Создан для производительности и безопасности

Доступна высокотемпературная конфигурация для нагрева химикатов до 210°C.

Доступно несколько сантехнических схем для облегчения установки в различных конфигурациях инструмента

Заземленные электрические нагревательные элементы

Резервные датчики температуры для безопасной работы Опциональная конструкция без уплотнительных колец сводит к минимуму загрязнение

Прочная конструкция

Запатентованная конструкция продувки устраняет проникновение химических веществ, что продлевает срок службы

Все поверхности, смачиваемые фторполимером, выдерживают практически любые влажные химические реакции.

Толстостенная камера из ПТФЭ и оболочка нагревателя для применения при высоких температурах/давлениях

ПРИЛОЖЕНИЯ

Очистка полупроводниковых пластин

Солнечная/фотогальваническая очистка пластин

Встроенный химический нагрев

Функции безопасности

Датчик уровня жидкости

Варианты заземляющего провода
Термопара перегрева
Технологическая термопара
Приложения серии TIH включают в себя:

Более быстрый нагрев:Размеры камеры с одним нагревателем до 18 кВт.

Быстрая установка:Сантехнические соединения по индивидуальному заказу

Долгий срок службы нагревателя для снижения стоимости владения (COO):

Запатентованная система продувки нагревательным газом постоянно удаляет любое химическое проникновение и обеспечивает длительный срок службы элемента.

Долгий срок службы нагревателя и чистая работа:Запатентованная система продувки нагревательного газа постоянно удаляет химическое проникновение и обеспечивает исключительно долгий срок службы элемента.Эта система также защищает от любого потенциального ионного загрязнения химии.

Прочная конструкция:Толстостенная камера обеспечивает долгий срок службы в самых суровых высокотемпературных условиях.

Исключительно чистая производительность:Толстая фторполимерная оболочка сводит к минимуму проникновение.Мониторинг продувки элемента сводит к минимуму возможность ионного загрязнения.Сборка и испытания в чистых помещениях обеспечивают высочайшие производственные стандарты.

Превосходная химическая совместимость:Все детали, смачиваемые фторполимером, совместимы практически с любым химическим веществом.

Отличная температурная стабильность:Конструкция с низкой удельной мощностью обеспечивает точный контроль температуры процесса.

Приложения серии TIH включают в себя:

SC1: гидроксид аммония (NH4OH) и перекись водорода (H2O2).

SC2: соляная кислота (HCl) и перекись водорода Процесс травления оксида с буфером (BOE): плавиковая кислота (HF) и фторид аммония (NH4F)

Травление/зачистка нитридом: фосфорная кислота (H3PO4) Различные кислоты, такие как:

Соляная (HCl)

Гидрофтористый (HF)

Уксусная кислота (C2H4O2)

Азотная (HNO3)

Серная (H2SO4)

Серная кислота и перекись водорода

Серная кислота и озон (O3)

Плавиковая кислота и гликоль (C2H6O2)

Гидроксид калия (KOH)

Гидроксид натрия (NaOH)

Химический никель

Химическая медь

Химическое золото

Деионизированная вода

Некоторые растворители (проконсультируйтесь с заводом-изготовителем)