Газ кабеля Polysilicon малого масштаба 700Nm3/H повторно использует от мастерской CDI

Газ кабеля Polysilicon малого масштаба 700Nm3/H повторно использует от мастерской CDI

Газ кабеля Polysilicon ³ /H индустрии 700Nm кремния Азии повторно использует

Приняты несколько выгонка передн-этапа и back-stage технологии водопода запатентованной извлечением, и технология соединена, и HCL и chlorosilane взяты от поликристаллического вытыхания кремния для всех блоков. Chlorosilane можно принять как сырье и очищенность газа продуктов может превысить 99,999%.

Проект извлечения водопода газа кабеля polysilicon приходит от газа кабеля мастерской CDI, который имеет высокое содержание водопода, низкое содержание примеси и высокие требования к очищенности продукта. Дизайн принимает адсорбцию качания температуры для обработки. Что сказать, газ питания конструирован с соотвествующей скоростью космоса, и вредные примеси (хлорид водопода и chlorosilane) в газе питания извлекутся через блок TSA, и после этого твердые приостанавливанные твердые тела и примеси пыли в газе продукта извлекутся через фильтр точности для произведения высокочистого водопода продукта. Больший часть из водопода транспортирована к сети трубы как продукты, и небольшая часть водопода возвращена в раздел TSA для регенерации адсорбента, и десорбированный газ возвращен в компрессор водопода передней части для повторно использовать chlorosilane. Отростчатый маршрут зрел и стабилизирован, который может эффектно обеспечить качество продукции. В то же время, десорбированный газ возвращен в раздел абсорбции для обработки, которая улучшает скорость восстановления водопода, и никакая ненужная газовая эмиссия в этом разделе.

Технические индексы

Очищенность: >99.999%

Емкость: 700Nm ³ /H

Выход: ≥99%

Ссылка