НОВЫЕ компоненты СЛК-КТ105 ИК измерителя прокачки фоторезиста
Портняжничанный к интеграции в требовательных системах покрытия, новое СЛК-КТ105 решение степен-датчика семикон для расходов потока под 120 мл/мин жидкостей основанных углеродом как фоторезисты и растворители. Основанный на технологии микросенсор Сенсирион доказанной термальной, оно раскрывает новые перспективы по отоношению к чувствительности, надежности и скорости. Короткое время на ответ СЛК-КТ105 позволяет точному контролю сильно динамических процессов как быстро дозируя деятельность. Оборудованный с штуцерами для трубопровода 4кс3мм ПФА, этот надежный прибор работает без всех двигающих частей измеряя неинвазивно через стену прямого пути подачи. Умный цифровой интерфейс и крепкое сообщение РС485 предложены для дальнего расстояния и возможности автобуса.
Особенности
- Для расходов потока до 120 мл/мин (углероды)
- Самая высокая чувствительность вниз к самым низким расходам потока
- Время быстрой реакции вниз к госпоже 30
- Цифровой интерфейс РС485
- Для фоторезистов и растворителей
- Прямой путь подачи, отсутствие двигающих частей
- Уверенная очищенность
- Превосходная химическая устойчивость, инертные материалы
- Намоченные материалы: ПКТФЭ, ПФА и стекло кварца только
Применения
- Лидирующее управление производственным процессом полупроводника
- Быстрая дозируя деятельность
