Shanghai Kemike Chemical Co.,Ltd
Add to Cart
Вольфрамовый гексафторидный газ, также известный как WF6, представляет собой химическое соединение, состоящее из одного атома вольфрама и шести атомов фтора.Гексафторид вольфрама в основном используется в полупроводниковой промышленности для отложения тонких пленок вольфрама при производстве интегральных схем и других электронных устройств.
Вот некоторые ключевые моменты о вольфрамовом гексафториде:
Осаждение вольфрамовых пленок: гексафторид вольфрама широко используется в качестве прекурсора газа в процессах химического отложения паров (CVD) для осаждения тонких пленок вольфрама.Эти пленки служат проводящими слоями при изготовлении микроэлектронных устройств, такие как транзисторы, соединения и электроды ворот.
Высокая чистота и устойчивость: газ WF6 обычно доступен в высокой чистоте, чтобы обеспечить качество и целостность отложенных вольфрамовых пленок.позволяющий контролируемый и равномерный рост пленки в особых условиях процесса.
Процесс СВД: во время процесса СВД газ гексафторида вольфрама вводится в камеру отложения вместе с редукторным агентом, таким как водородный газ.Молекулы WF6 разлагаются при повышенной температуре, откладывая атомы вольфрама на поверхность субстрата контролируемым образом.
Безопасность: гексафторид вольфрама - это очень токсичный и коррозионный газ, который требует тщательного обращения и хранения.Соответствующие меры безопасности, включая использование специализированного оборудования и защитного снаряжения, необходимы при работе с WF6.
Влияние на окружающую среду: как и другие фторированные соединения, гексафторид вольфрама может способствовать возникновению экологических проблем.Для предотвращения выбросов в окружающую среду необходимы тщательные методы управления и утилизации..
Важно отметить, что газ гексафторид вольфрама в основном используется в промышленном и специализированном применении, и его обработка требует опыта и соблюдения протоколов безопасности.
| Испытательные элементы | Объекты | Требования качества | Результаты испытаний |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| О2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| СО | ppm | <0.5 | <0.02 |
| СО2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Аль. | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Как | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| В. | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Примерно | ppb | ≤ 5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | <0.001 |
| КР | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Фэ | ppb | ≤ 10 | <0.007 |
| К | ppb | ≤ 5 | <0.100 |
| Мн | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Нет. | ppb | ≤ 5 | <0.040 |
| - Что? | ppb | ≤ 0.1 | <0.001 |
| Ти | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| Ли | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| У | ppb | ≤ 0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Да, да. | ppb | ≤ 10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| П | ppb | ≤ 2 | <0.300 |
| Мг | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Ни. | ppb | ≤ 20 | <0.030 |
| Ку | ppb | ≤ 5 | <0.005 |
| Мо | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Общие примеси других металлов | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
