Shanghai GaNova Electronic Information Co., Ltd.
Профессиональная платформа по закупкам в полупроводниковой промышленности, чтобы предоставить вам превосходное качество и разнообразие продуктов и технических услуг
Add to Cart
Система RTP-150RL быстрая термальная обжигая с 3 газами наборов отростчатыми
RTP-150RL:
В атмосфере защиты настольной ручной быстрой обжигать системы, с ультракрасным видимым светом нагревая одиночные вафлю или образец части, короткое время процесса, высокотемпературная точность контроля, соответствующая для вафли дюйма 2-6. Свои уникальный дизайн полости, предварительная технология контроля температуры и уникальная система управления RL900 над обычными системами печи диффузии обжигая обеспечивают превосходное термальное единообразие сравненное с другими системами RTP.
Характеристики продукта:
1. Ультракрасное топление трубки лампы галоида, охлаждая используя воздушное охлаждение.
2. Контроль температуры PID силы трубки, может точно контролировать топление температуры, для обеспечения хорошего единообразия воспроизводимости и температуры.
3. Параллельный метод забора воздуха принят, и вход газа набор на поверхности вафли для избежания холодных пунктов во время обжигая процесса и для обеспечения хорошего единообразия температуры продукта.
4. Воздух и методы лечения вакуума можно выбрать, перед обработкой очищения газа воздуха входа.
5. Стандарт с 3 наборами отростчатых газов.
6. Максимальный размер измеряемого одиночного образца вафли 6 дюймов (150mm).
7. Тройные меры безопасности предохранения от температуры безопасности печи раскрывая, предохранения от власти регулятора температуры раскрывая и предохранения от безопасности аварийной остановки оборудования приняты для обеспечения безопасности аппаратур.