Применения	Особая цель	Материальный тип
Оптика	Оптически фильмы как фильм antireflection, высокий R.I.	SiO₂, TiO₂, животики₂o₅, ZrO₂, HfO₂
	стекло Низко-излучения	Множественные слои металла (серебра, меди, олова, etc.) или другие смеси
	Прозрачное электропроводное стекло	ZnO: Al, etc

Принцип деятельности
Особенности брызгать магнетрона высоки фильм-формирующ тариф, низкую температуру субстрата, хорошее прилипание фильма
и realizable покрытие обширного района. Эту технологию можно разделить в брызгать магнетрона DC и магнетрон RF
брызгать.

Особенности

Модель	MSC-O-X-X
Покрывая тип	Различные диэлектрические фильмы как металлопленочное, металлическая окись и AIN
Покрывая диапазон температур	Нормальная температура к 500℃
Покрывая размер камеры вакуума	700mm750mm700mm (ориентированный на заказчика)
Вакуум предпосылки	< 5="">-7mbar
Покрывая толщина	≥ 10nm
Точность управлением толщины	≤ ±3%
Максимальный покрывая размер	≥ 100mm (ориентированное на заказчика)
Единообразие толщины фильма	≤ ±0.5%
Несущая субстрата	С планетарным механизмом вращения
Материал цели	дюймы 4×4 (совместимые с 4 дюймами и внизу)
Электропитание	Электропитания как DC, ИМП ульс, RF, ЕСЛИ и смещение опционное
Отростчатый газ	Ar, n₂, O2ий
Примечание: Подгонянная продукция доступная.

Покрывая образец

Отростчатые шаги
→ устанавливает субстрат для покрывать в камеру вакуума;
→ Vacuumize камера вакуума на повсюду температуре, и повернуть субстрат одновременно;
→ начинает покрыть: субстрат контактирован с прекурсором в последовательности и без одновременной реакции;
→ продувает его с высокочистым газом азота после каждой реакции;
Стоп → поворачивая субстрат после того как толщина фильма до стандартна и деятельность продувать и охлаждать
завершенный, тогда примите вне субстрат после вакуума ломая условия встретьте.

Наши преимущества
Мы изготовитель.
Зрелый процесс.
Ответ не позднее 24 рабочие часы.

Наша аттестация ISO

Части наших патентов

Части наших наград и квалификации НИОКР