Nanyang Xinda Electro-Mechanical Co., Ltd.
CO. Nanyang Xinda электро-механическое, Ltd.
Add to Cart
Печь CVD машины диаманта Cvd утверждения CE механотронная, печь трубки Cvd машины трубки CVD вакуума газа
Наша печь CVD splitable печь трубки с трубкой кварца диаметра 50mm, двойными горячими зонами, системой вачуумного насоса диффузионного вакуума и газа 4 измерителей прокачки каналов системой массового пропуская. Она может смешать 1-4 типов газов для CVD или диффузии.
Дисплей продукции:
Технические данные:
| Модель | XDEM-1200CVD | ||
| Часть i: Печь трубки | |||
| Печь трубки
| Дисплей | СИД | |
| Камера | Разделенные тип и верхнюю часть можно раскрыть | ||
| Максимальн Температура | 1200℃ на короткий период времени | ||
| Непрерывный Temp Woking. | ≤1100℃ | ||
| Тариф на отопление | Предложение: 0~10℃/min (максимальное 20℃/min) | ||
| Зона температуры | зоны 220+220mm двойные | ||
| Нагревающий элемент | Провод сопротивления с Mo | ||
| Термопара | Тип k | ||
| Точность контроля температуры | ±1℃ | ||
| Размер трубки | 50 x 1000mm (OD x минимальный l) | ||
| Контроль температуры | Режим автоматического управления PID через регулятор мощности SCR | ||
| Кривые нагрева | 30 шагов programmable | ||
| Фланец вакуума | Фланец вакуума нержавеющей стали с клапаном
| ||
| Сила | 220V, 50 Hz, одиночная фаза на максимальном 3KW | ||
| Часть II: Вакуумный насос | |||
| Роторный вакуум лопасти Pump+Vacuum насос accessories+Cart с колесом
| Окончательный вакуум 10-3 торр. И вакуум внутри трубки около 10-1 торр. Расход потока: 2L/S
| ||
| Часть III: Массовые измерители прокачки | |||
| Массовые измерители прокачки | 4 измерителя прокачки массы точности: MFC 1: Ряд подачи газа от sccm 0~100 MFC 2&3: Ряд контроля от sccm 0~200 MFC 4: Ряд подачи газа от 0~500sccm (или согласно вашему requriement) Один танк газа смешивая установлен на нижний случай с клапаном 4 игольчатого клапана нержавеющей стали установлены на левой стороне нижнего случая для того чтобы контролировать 4 тип газы смешивая вручную
| ||
| Датчик вакуума части IV Inficon цифровой | |||
| Inficon | 3.8x10-5 до 1125 торр. ряда измерения Противокоррозионный, типа газ независимый
| ||
Упаковка & грузить:
Деревянная коробка с polyfoam заполненным внутрь для обеспечения безопасного транспорта.
Пакеты могут быть отправлены морским путем, самолетом, срочным, etc в запрос клиента.