Микроскоп измерения широко использован для рассмотрения
кристаллических, интегральной схемаы
(IC) и точного измерения.
Он поставлен с холодной поляризовыванной системой иллюминатора светлой волокна отраженной, отображать и
просмотра, отображающ система.
Спецификации
Оптически отображая система
------Инфинитивное оптически systam, фокусное расстояние 200mm объектива трубки
------ Трубка Trinocular компенсации свободная, склоненная на 30°, расстояние 55-75mm Interpupillary
------Высокая точка и широкий окуляр WF10/22 поля
------Длинное расстояние работы, задачи 2X/0.055 Apo плана, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------ Nosepiece quintuple
Система регулировки фокуса
-----Коаксиальная система грубых & ребра фокуса регулировки, точное разделение 0.002mm
Этап
------ этап 6 слоев двойника ″ ″ x8 механический, ряд 153x204mm движения.
Трехмерная измерительная система
-------Разрешение: 1μm
-------Exactitude измерения: μm ± (2+L/200)
------Повторно Exactitude ориентации: 2μm
Система освещения
-------Холодное светлое волокно отразило Illnminator: 150W
--------Полное геометрическое измерение (пункт, линия, круг, дуга etc.)
--------Введение в силу, регулировка рамки ссылки
--------Разнообразие дисплея: Преобразование языка, измерения и угла
Спецификации
Оптически отображая система
------Инфинитивное оптически systam, фокусное расстояние 200mm объектива трубки
------ Трубка Trinocular компенсации свободная, склоненная на 30°, расстояние 55-75mm Interpupillary
------Высокая точка и широкий окуляр WF10/22 поля
------Длинное расстояние работы, задачи 2X/0.055 Apo плана, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------ Nosepiece quintuple
Система регулировки фокуса
-----Коаксиальная система грубых & ребра фокуса регулировки, точное разделение 0.002mm
Этап
------ этап 6 слоев двойника ″ ″ x8 механический, ряд 153x204mm движения.
Трехмерная измерительная система
-------Разрешение: 1μm
-------Exactitude измерения: μm ± (2+L/200)
------Повторно Exactitude ориентации: 2μm
Система освещения
-------Холодное светлое волокно отразило Illnminator: 150W
--------Полное геометрическое измерение (пункт, линия, круг, дуга etc.)
--------Введение в силу, регулировка рамки ссылки
--------Разнообразие дисплея: Преобразование языка, измерения и угла